第386章 45纳米光刻机（1/2）

攻关小组在第三个月撞上了南墙。

何雨柱站在无尘车间外面，隔著玻璃往里看。那台银白色的机器外壳上贴著“45n实验样机”的標籤，红字蹭掉了一个角。他没进去，就站在那儿，能感觉到里头的气压很低。几个技术员蹲在机器前头，没人说话，只有机器散热风扇嗡嗡转。

周厂长攥著测试报告出来，报告纸被他手心的汗洇湿了一角。他没递过来，先嘆了口气，声音压在嗓子眼里。

“何处长，前六次都废了。”

何雨柱接过报告，翻到第六次测试那一页。曝光均匀性，偏差百分之十五。线宽，四十五纳米正负五纳米。合格率，不到百分之三十。他把报告合上，没说话。

“镜头热变形，曝光精度不够。线宽控制不住，有的宽，有的窄，短路、断路，一大堆毛病。”周厂长说著，用手比划了一下，“跑起来就热，一热就歪。”

何雨柱把报告还给他。“钱所长的材料呢”

周厂长翻到另一页，手指点了点上面的数据，嘴唇动了动，没立刻接话。“新材料透光率好了两成，可它……”他停顿了一下，像是在斟酌词句，“一开大功率就膨胀。功率小了，曝光时间又太长，一片硅片得晒半天，效率还不如老机器。”

何雨柱没接话。他推开车间门，走进去。机器还在嗡嗡响，指示灯一闪一闪的。他蹲下来，伸手摸了摸镜头座旁边的外壳，烫的，手心贴上去能感觉到热量往外渗。

中科院微电子所的王研究员蹲在操作台前头，手里拿著个本子，一边看一边记。他看见何雨柱，站起来，摘下老花镜。

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“何处长，问题不在材料。镜头热变形是结构的事。散热不均匀，一边热一边凉，镜头就歪了。”

何雨柱站起来。“能改吗”

王研究员没直接回答。他把老花镜戴上，又摘下，用衣角擦了擦镜片。“改散热结构，加冷却水道，让冷却液均匀流过镜头四周。温度稳了，变形就小了。”

何雨柱转过身，看著周厂长。“改。需要多久”

周厂长想了想，又看了看王研究员。“两周。重新设计冷却水道，加工零件，安装调试。”

何雨柱点点头。“改。改完了再试。”

第七次试机安排在两周后的一个下午。

何雨柱又去了上海。车间里站满了人，上海无线电厂的技术员、中科院微电子所的研究员、钱致远材料所派来的年轻人，把无尘车间挤得满满当当。空调开得很足，但何雨柱还是觉得闷。他站在人群后头，能看见那台机器上贴著的“45n实验样机”標籤，红字已经彻底模糊了。

周厂长站在操作台前头，手放在启动按钮上，没按。他回头看了何雨柱一眼，又转回去，盯著屏幕上那几行还在跳动的温度数据。等了十几秒，温度稳住了。

“各处温度正常，正负零点五度。”操作员报数。

周厂长深吸一口气，按下按钮。

机器启动了。光源亮起来，刺得人睁不开眼。镜头旋转，工件台移动，硅片在曝光灯下慢慢移动。车间里很安静，只有机器嗡嗡响。何雨柱盯著仪錶盘上的数字，压力、温度、真空度，都在正常范围。但他注意到周厂长的手一直没离开那个红色的紧急停止按钮，手指搁在上头，没按下去。

三十分钟。四十分钟。五十分钟。

机器停了。

技术员把硅片取出来，送到显微镜下。王研究员凑过去，看了很久，一动不动。车间里没人说话，有人咽了口唾沫，声音很响。

周厂长忍不住了。“老王”

王研究员没回头，又看了十几秒，才直起腰。他把老花镜摘下来，没说话，先呼出一口气。

“线宽，四十五纳米，正负零点五。均匀性，偏差百分之三。”

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